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氣體流量計(jì)/控制器HFM-205/HFC-207

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氣體流量計(jì)/控制器HFM-205/HFC-207


HFM-205氣體流量計(jì)HFC-207氣體流量控制器
范圍(用戶可選)0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)
精度滿量程的+ 1.0%滿量程的+ 1.0%
重復(fù)性滿量程的+ 0.05%滿量程的+ 0.05%
最大工作壓力500 PSIG 500 PSIG
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
     0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
接口選項(xiàng)VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋
彈性密封選項(xiàng)Viton?, Kalrez, Buna-N, NeopreneViton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene
電氣連接 (+/- 15 VDC)
     電氣連接 (+24 VDC)
D型15針      D型9針D型15針      D型9針
電源(+/- 15 V)      
     電源(+24 V)
+(14 - 16) VDC @ + 30 mA    (<1 W)
     (14-32) VDC (<1.9 W)
+(14 - 16) VDC @ + 60    mA / -185 mA (<3 W)
     (14-32) VDC (<3 W)
濕液材質(zhì)302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton?302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton?, Kalrez?    (閥座)
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