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氣體流量計(jì)/控制器HFM-200/HFC-202
氣體流量計(jì)/控制器HFM-200/HFC-202
| HFM-200氣體流量計(jì) | HFC-202氣體流量控制器 | |
| 范圍（用戶可選） | 0 - 10 sccm 至0 - 25 slm (N2) | 0 - 10 sccm 至 0 - 25 slm (N2) |
| 精度 | 滿量程的+ 1.0% | 滿量程的+ 1.0% |
| 重復(fù)性 | + 0.05% of full scale | + 0.05% of full scale |
| 最大工作壓力 | 500 PSIG (可選1000 PSIG) | 500 PSIG (可選1000 PSIG) |
| 模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn)) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模擬量輸入/輸出 (可選) | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 | 4 - 20 mA輸入和輸出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出 |
| 接口選項(xiàng) | VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋 | VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋 |
| 彈性密封選項(xiàng) | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 電氣連接 (+/- 15 VDC) 電氣連接 (+24 VDC) | D型15針 D型9針 | D型15針 D型9針 |
| 電源(+/- 15 V) 電源(+24 V) | +(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 W) (14-32) VDC (<1.9 W) | +(14 - 16) VDC @ + 60 mA / -185 mA (<3 W) (14-32) VDC (<4.2 W) |
| 濕液材質(zhì) | 316LSS, Viton?, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder | 302 SS, 316L SS, Nickel, Viton?, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder, Kalrez? (閥座) |
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D-300A系列氣體流量計(jì)/控制器
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氣體流量計(jì)HFM-200 LFE