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氣體流量計(jì)/控制器HFM-305/HFC-307

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氣體流量計(jì)/控制器HFM-305/HFC-307


HFM-305氣體流量計(jì)HFC-307 氣體流量控制器
范圍(用戶可選)0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)0 - 1000 slm to 0 - 2500 slm (N2)
精度滿量程的+ 1.0%滿量程的+ 1.0%
重復(fù)性滿量程的+ 0.07%滿量程的+ 0.07%
最大工作壓力500 PSIG 500 PSIG
模擬量輸入/輸出 (標(biāo)準(zhǔn))0 - 5 VDC0 - 5 VDC
模擬量輸入/輸出 (可選)4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
   0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
4 - 20 mA輸入和輸出,
     0 - 20 mA, 
   0 - 5 VDC輸入/ 4 - 20 mA輸出
密封材質(zhì)Viton?, Kalrez, Buna-N, NeopreneViton?, Kalrez, Buna-N, Neoprene
接口選項(xiàng)VCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋, NPTVCR?, VCO?, Swagelok?, 直螺紋
電氣連接D型15針D型15針
電源+15VDC @ 55 mA+15VDC @ 150 mA
濕液材質(zhì)302 SS, 316 SS, Nickel 200302 SS, 316 SS, Nickel 200, Viton?, Kalrez?    (閥座)
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